核心參數(shù):
紅外反射率:8-14μm 波段>98%(金標(biāo)靶)
激光損傷閾值:1064nm, 10ns 脈沖>5J/cm2
測試方法:
橢偏儀測膜厚均勻性(±1.5%)
紫外 - 可見 - 近紅外分光光度計(jì)驗(yàn)證透過率
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