PVD鍍膜是一種物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition)技術,用于在材料表面沉積薄膜。這種技術通過將固態材料加熱至高溫,使其蒸發或濺射,并在真空或惰性氣體環境中沉積在目標材料(通常稱為靶材)的表面,從而形成薄膜。PVD鍍膜過程中,最常用的方法包括:蒸發沉積(Evaporation Deposition): 在蒸發沉積中,靶材加熱至高溫,使其蒸發成氣體態,然后氣體態的...
鈦硅靶材是一種在半導體制造中常用的靶材,通常由鈦(Ti)和硅(Si)的合金組成。這種靶材在物理氣相沉積(PVD)等技術中用于薄膜沉積,對于半導體芯片的制造有著重要的應用。以下是鈦硅靶材的一些特性:薄膜的特性: 鈦硅靶材用于沉積薄膜層,這些薄膜層可以是金屬、合金、氧化物等。薄膜的性質取決于鈦硅靶材的成分比例和沉積過程的參數,可以調節薄膜的導電性、光學性質、機械性能等。合金組分: 鈦硅靶材是鈦和...
鈦靶的純度對產品性能和質量有著顯著的影響,特別是在半導體行業中,由于鈦靶用于薄膜沉積等關鍵制程,其純度要求非常高。以下是鈦靶純度對產品的影響:薄膜質量: 鈦靶用于物理氣相沉積(PVD)等技術在晶圓表面形成薄膜層。高純度的鈦靶可以確保薄膜的純度和均勻性,從而提高薄膜的質量和穩定性。低純度的鈦靶可能含有雜質,導致薄膜中出現缺陷,降低芯片性能。電學性能: 在半導體芯片中,有時需要在特定區域形成導電...